1. 油箱中的真空泵油被吸入泵体中，并通过滤网过滤掉较大的颗粒杂质。
2. 经过滤网的油被泵体中的叶轮旋转驱动，快速从泵的出口处排出。
3. 为了实现油路的密封，使用一个O型圈（或其他类型的密封件）将泵的出口和排气口进行密封。
4. 被抽气体经由排气阀吸入真空泵，与此同时，随着真空泵的抽气效率提高，管道中气压降低，在压力的作用下油被迫在管路中循环。
5. 新鲜油从油箱中泵出，经过分水滤油器将水滴、油滴和磨屑等污物滤出，再送到泵腔内润滑轴承、齿轮副和叶片，改善工作条件。
6. 排出的油又流回油箱，形成一个完整的循环。
请注意，这是一个大致的流程，具体取决于所使用的真空泵类型和其配置。
真空泵油通常是中性的，因为它们不会对样品产生任何化学反应或污染。真空泵油通常由矿物油或合成油制成，这些油没有任何电荷或可被化学反应的活性基团。在真空泵中，油的作用是减少摩擦和阻力，从而形成真空和维持运作。因此，油需要是中性的，以避免污染和影响实验结果。但是，在某些情况下，如果油与样品有不良反应或产生污染，则可能需要更换油或使用不同类型的油。
真空泵的种类及区别如下：
按性能特点和用途分类。低真空泵，极限压力高于102Pa；中真空泵，极限压力在102~10-1Pa；高真空泵，极限压力在10-1~10-5Pa；超高真空泵，极限压力低于10-5Pa。
按工作原理和结构特点分类。机械式容积真空泵，靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用；喷射式真空泵，利用高速喷射的技术，将气体排出；吸附式真空泵，利用吸附剂吸附气体来达到抽气的效果。
真空泵的区别主要是性能不同、用途不同、工作原理不同等。