超纯水是指水质非常纯净，几乎不含任何杂质的水，其指标参数主要包括以下几项：
电阻率：超纯水的电阻率极高，接近于超纯度物质，一般大于18MΩ·cm（25℃）。
细菌含量：超纯水中细菌含量极低，通常小于1CFU/mL。
颗粒物：超纯水中不含任何颗粒物，透光率极高。
离子含量：超纯水中的离子含量极低，如钠离子、氯离子、硫酸根离子等均小于1ppb。
氧化还原电位：超纯水的氧化还原电位较低，一般在-200mV以下。
微量有机物和痕量无机物：超纯水中不含任何微量有机物和痕量无机物，保证了水的纯度。
超纯水在科研、制药、电子等领域应用广泛，需要严格控制其指标参数以保证水的纯度。
不可以。玻璃水主要是用于清洗与去除玻璃表面的污渍和油腻，而超纯水虽然能够去除水中的各种离子和杂质，但并不能很好地去除油脂和污垢。
超纯水可以在以下领域使用[4]：
（1）电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
（3）单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。
（4）高压变电器的清洗等