硅胶垫是一种高分子材料，具有良好的化学稳定性和耐高温性能。过氧乙酸是强氧化剂，含氧官能团，会与许多有机物和无机物发生氧化反应，但硅胶垫对过氧乙酸气体有较好的耐受性，不易被氧化腐蚀和破坏。但需要注意的是，硅胶垫在长时间接触过氧乙酸气体时，也会受到一定的影响，建议在使用过程中避免长时间暴露于过氧乙酸气体中。
1、如果硅胶垫上只是有些许的灰尘，没有其他任何的脏东西，可以用温水浸泡5-10分钟，然后放置通风处晾干即可。
2、如若是硅胶垫上沾上其他比较难以清洗的东西，譬如油渍或是其他黏性比较强的东西，可以使用洗洁精或是肥皂清洗。
3、在清洗硅胶垫之前可用刷子刷上少许的食用油，把垫子放入蒸笼重蒸煮几分钟。紧接着将硅胶垫温水中浸泡5分钟左右，随后用刷子轻轻清洗即可洗净。
硅胶垫背胶可以使用电晕处理代替，但效果可能不如预期。电晕处理虽然能够在材料表面产生氧化层，使得粘接效果更好，但硅胶垫需要的是良好的机械性能和耐磨性，电晕处理只是对表面进行改性，对材料本身性能并没有改善。因此，硅胶垫背胶最好还是采用专门的机器以及工艺去处理。