90nm。
日前上海昆山一家名同兴达公司有两台国产光刻机进驻,为上海微电子生产的光刻机。
昆山同兴达，该公司成立于2021年12月，主营半导体芯片先进封装测试相关之生产、销售及服务，是同兴达集团最年轻的子公司。
明年五月开始量产
据同兴达消息，2月1日，昆山同兴达首台SMEE光刻机顺利搬入仪式落幕。昆山同兴达公司成立于2021年12月，主营半导体/芯片先进封装测试相关之生产、销售及服务，是同兴达集团最年轻的子公司、集团产业新赛道。公司将于今年3月完成设备调试及开始样品试制，规划于今年5月完成量产1000片/月，明年8月将完成一期满产（2W片/月）