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抽真空过程中如果产生了油蒸气，最好的方法是添加一个油雾过滤器，以保护真空泵和所连接的设备。油雾过滤器使用滤纸来过滤油蒸气，因此可以有效阻止油进入真空泵并保护其正常运作。
另外，还可以使用其他方法来减少油蒸气的产生，比如降低温度或使用冷却水冷却系统。这样可以减少液体蒸发，进而减少油蒸气的产生，从而使真空泵的工作更加顺畅。
抽真空机油的需要的压力取决于机油的黏度、油龄以及真空泵的工作能力。通常来说，国际标准化组织对真空度进行了划分，比如ISO 4406等级，其中10级为最高等级要求的真空度为30Pa。所以，在抽取真空机油时，需要确保真空泵的工作能力能够达到所需达到的真空度，以保证机油在此真空度下也能保持一定的黏度和流动性。
一些常见的真空泵如罗茨泵、分子泵等都能够满足真空机油抽取的要求。